Reflectometry System
| Art | KD_8_2_Z1 Kerndaten für die Bekanntgabe von vergebenen Aufträgen und abgeschlossenen Rahmenvereinbarungen |
|---|---|
| Bezeichnung | Reflectometry System |
| Kategorie (CPV Hauptteil) | 31000000 Elektrische Maschinen, Geräte, Ausstattung und Verbrauchsartikel; Beleuchtung |
| Auftraggeber |
|
| Lieferant | Filmetrics, Inc. |
| Verfahrensart | Direktvergabe |
| Art des Auftrags | Lieferauftrag |
| Beschreibung | A reflectometry system was needed for current cleanroom microfabrication activities as the photoresist thickness mapping and thin films basic characterization. The decision was based on versatile capabilities: 1) Thin-Film Small-Spot Mapping System and autofocus 2) Compatible with wafers up to 300 mm 3) Equipped with microscope |
| Tag Vertragsabschluss | 16.06.2020 |
| Anzahl eingegangener Angebote | 1 |
| Anzahl eingegangener Angebote (KMU) | 0 |
| Auftragswert | 66.742,00 |