Silicon Austria Labs – Chips JU: In-line metrology tool for thin-film measurements

Art KD_8_2_Z1 Kerndaten für die Bekanntgabe von vergebenen Aufträgen und abgeschlossenen Rahmenvereinbarungen
Bezeichnung Silicon Austria Labs – Chips JU: In-line metrology tool for thin-film measurements
Kategorie (CPV Hauptteil) 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Auftraggeber
Lieferant Onto Innovation
Verfahrensart Verhandlungsverfahren mit vorheriger Bekanntmachung
Art des Auftrags Lieferauftrag
Beschreibung The aim of this procurement procedure was to award the contract to the best bidder identified during the procurement procedure for the supply, installation and commissioning of an in-line metrology tool for thin-film measurements for Silicon Austria Labs GmbH.
Tag Vertragsabschluss 16.07.2026
Anzahl eingegangener Angebote 1
Anzahl eingegangener Angebote (KMU) 0
Auftragswert 1.031.193,61
Angabe ob Auftragswert OSB oder USB Oberschwellenbereich (OSB)
Version 1, XML, zuletzt aktualisiert: 12.08.2026